Vyučující
|
|
Obsah předmětu
|
Vlastnosti tenkých vrstev Struktura a jejich složení Roentgenova spektroskopie Elektronová mikrosonda Ramanova spektroskopie SIMS GDOES RBS XPS
|
Studijní aktivity a metody výuky
|
Monologická (výklad, přednáška, instruktáž), Dialogická (diskuze, rozhovor, brainstorming), Metody práce s textem (učebnicí, knihou)
- Příprava na zkoušku
- 600 hodin za semestr
|
Výstupy z učení
|
Cílem je seznámit studenty s diagnostickými metodami tenkých vrstev.
Předměty zaměřené na získání znalostí. Uvést metody používané k charakterizaci tenkých vrstev. Definovat možnosti použití jednotlivých metod. Identifikovat nedostatky jednotlivých metod a možné chyby stanovení parametrů tenké vrstvy.
|
Předpoklady
|
Základní znalosti VŠ fyziky.
|
Hodnoticí metody a kritéria
|
Ústní zkouška
Znalosti v rozsahu přednášené problematiky.
|
Doporučená literatura
|
-
Eckertová, L. a kol. (1992). Fyzikální elektronika pevných látek. Karolinum Praha.
-
Kittel, Ch. (1985). Úvod do fyziky pevných látek. Academia Praha.
|