|
Vyučující
|
-
Peřina Jan, prof. RNDr. Ph.D.
-
Hubička Zdeněk, Mgr. Ph.D.
-
Čada Martin, Mgr. Ph.D.
|
|
Obsah předmětu
|
" Základy vakuové techniky; metody pro vytváření a měření vakua; konstrukce vakuových aparatur. " Základní principy a použití DC, RF, pulzních DC a HiPIMS zdrojů pro buzení nízkoteplotního plazmatu " Základy řízení fyzikálních experimentů. " Přehled metod přípravy tenkých vrstev; metody PVD, CVD a PECVD a jejich modifikace; srovnání výhod a nevýhod. " Magnetronové naprašování a reaktivní naprašování; popis různých konfigurací z pohledu generace plazmatu; aplikace na konkrétní typy tenkých vrstv. " PECVD metody depozice tenkých vrstev, " atmosférické plazma a jeho aplikace pro depozice tenkých vrstev a úpravu povrchů. " Další plazma-asistované depoziční techniky tenkých vrstev a jejich použití v praxi. " Přehled diagnostických metod plazmatu; Langmuirova sonda - teorie sběru nabitých částic kovovou sondou s rozmítaným předpětím; konstrukce sondy a měřících elektronických obvodů; problematika měření v depozičních plazmových systémech. " Žhavená sonda pro real-time určení potenciálu plazmatu; sondy pro měření iontové rychlostní distribuce (RFEA, Katsumata atp.); sondy pro měření iontového toku a jejich použití v technologickém plazmatu. " Hmotnostní spektroskopie s energetickým rozlišením; optická emisní spektroskopie; laserová absorpční spektroskopie; techniky mikrovlnné diagnostiky plazmatu. " Základní vlastnosti tenkých vrstev; fyzika povrchů a tenké vrstvy; struktura a složení tenkých vrstev. " Charakterizace tenkých vrstev - základní principy měření struktury a složení tenkých vrstev; X-ray spektroskopie; " Elektronová spektroskopie tenkých vrstev; metody SEM a TEM; další metody elektronové spektroskopie. " Ramanova spektroskopie; AFM; STM; indentace.
|
|
Studijní aktivity a metody výuky
|
Monologická (výklad, přednáška, instruktáž), Metody práce s textem (učebnicí, knihou)
- Účast na výuce
- 20 hodin za semestr
- Domácí příprava na výuku
- 130 hodin za semestr
|
|
Výstupy z učení
|
Cílem je seznámit studenty s problematikou uvedenou v sylabu předmětu. Cílem předmětu je seznámit studenty se základními poznatky o vakuové technice, nízkoteplotním plazmatu, přípravě a charakterizaci tenkých vrstev se zaměřením na metody plazmatické přípravy tenkých vrstev a diagnostiku plazmatu.
Způsobilosti získané studentem jsou popsány a jasně definovány v sylabu předmětu.
|
|
Předpoklady
|
Předmět zaměřený na získání znalostí.
|
|
Hodnoticí metody a kritéria
|
Známkou
Sestudování časopisecké literatury, diskuze na probíraná témata.
|
|
Doporučená literatura
|
-
A. J. Dekker. (1958). Solid state physics. Prentice-Hall Englewood Cliffs.
-
D.M. Mattox. (2010). Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing, 2nd ed.. Elsevier.
-
H. Czichos, T. Saito, L. Smith. (2006). Handbook of Materials Measurement Methods. Springer Verlag.
-
L. Eckertová. (1996). Metody analýzy povrchů - elektronová mikroskopie a difrakce. Academia Praha.
-
P. M. Martin. (2010). Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings. Elsevier.
-
R. Hippler, H. Kersten, M. Schmidt, K.H. Schoenbach. (2007). Low-temperature plasma, 2nd ed.. Wiley-VCH.
|