Vyučující
|
|
Obsah předmětu
|
Metrologie, standardizace, nejistoty, metrologická návaznost Délková nanometrologie - problémy spojené s malými rozměry, metrologické AFM, standardy, vyhodnocování, popis povrchů Nanometrologie dalších veličin a nanoetalony
|
Studijní aktivity a metody výuky
|
Přednášení
- Příprava na zkoušku
- 50 hodin za semestr
- Domácí příprava na výuku
- 15 hodin za semestr
- Účast na výuce
- 25 hodin za semestr
|
Výstupy z učení
|
Studenti získají základní informace o metrologii, standardizaci obecně a speciálně o metrologii nanostruktur, převážně v oblasti délkové nanometrologie.
Popsat aplikaci metrologických principů v nanotechnologiích
|
Předpoklady
|
nespecifikováno
|
Hodnoticí metody a kritéria
|
Známkou
Znalosti v rozsahu programu předmětu
|
Doporučená literatura
|
-
Leach R. (2010). Fundamental Principles of Engineering Nanometrology.. Elsevier.
-
Mlčoch J., Rössler T. (2005). Teorie měření a experimentu. Vydavatelství UP, Olomouc.
-
Whitehouse D. J. (2003). Handbook of Surface and Nanometrology.. IOP.
|